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媒體剪輯

台灣奈米影像 小小兵奪金

2016-02-10 / Wa ‐ People 產業人物 / 李慧臻

國家實驗研究院儀器科技研究中心儀科中心)研發團隊參加科技部奈米國家型人才培育計畫所辦理「台灣奈米影像」競賽,已連續八年獲獎,2015年研發團隊使用原子解析度「像差修正掃描穿透式電子顯微鏡」(aberration-corrected STEM)直接觀察原子影像,以「小小兵(Minions)軍團:Si0.8Ge0.2/Si界面原子結構」(The army of Minions: The atomic structure of Si0.8Ge0.2/Si interface)為參賽主題,榮獲穿透式電子顯微鏡組競賽金牌獎。

本影像以可呈現原子序對比之「高角度環場暗視野」(high angle annular dark field, HAADF)偵測器收集原子柱訊號,可見原子柱於此特定方位關係為啞鈴狀排列,形成小小兵的可愛眼鏡。界面左半邊較亮部分為矽鍺合金(Si0.8Ge0.2)材料,右半邊較暗者為純矽。影像下方為同步使用「能量分散光譜儀」取得之「化學元素原子分佈影像」(atomic EDS mapping)。本影像放大倍率為14,500,000倍,點解析度達0.78Å。

上述影像相關研究國研院儀科中心已同步發表於Nanoscale Research Letters、Thin Solid Films及Applied Surface Science等國際期刊。目前此儀器已提供中山大學、成功大學、中央大學、台灣大學、國研院奈米元件實驗室、國家中山科學研究院及半導體元件材料分析公司等單位之合作研究計畫使用,以支援國內先進研究之顯微結構觀察需求。

更新日期:2016 年 11 月 4 日